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质量流量计，质量流量控制器的流量单位是什么？（slm/sccm）？

气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。
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